Der Schlüssel zur kostengünstigen Produktion war schließlich die Einführung der automatisierten Messtechnik. Ursprünglich bezieht sich die Metrologie auf die Messung aller physikalischen Größen. In der Dünnschichtproduktion messen automatisierte Messsysteme verschiedene Parameter wie Dicke, Brechungsindex, elektrischen Widerstand und mechanische Spannung. Diese Systeme werden jedoch nicht nur zur Überwachung der physikalischen Materialeigenschaften eingesetzt, sondern auch zur Rückführung dieser Informationen in den Herstellungsprozess.